光镜至于载物台中央，使激光束按布儒斯特角（约57°）入射到黑色反光镜表面。根据布儒斯特定律，当入射角是布儒斯特角时，反射光将是振动方向垂直于入射面（水平面)的完全线偏光(如图3所示），反射至望远镜筒内到达观察窗口白屏上成为一个亮点。转动整个检偏器，调整与望远镜的相对位置，使观察窗口白屏上的光点达到最暗后固定检偏器。57°66°平行光管57望远镜图3获得布儒斯特角调整示意图3)标定起偏器透光轴的零刻度，并使起偏器和检偏器的透光轴零刻度方向互相垂直。将起偏器套在平行光管镜筒上，0°读数朝上（如图4所示）。取下黑色反光镜，将望远镜系统转回原来位置，使起偏器、检偏器共轴，并使激光束通过中心。调整起偏器与镜筒的相对位置。找出最暗位置后固定起偏器。900.十升检偏器读数头起偏器读数头C图4起偏器、检偏器透光轴零刻度定位示意图4)四分之一波片零位的调整将四分之一波片框的打孔点（快轴方向记号)向上，套在内刻度圈上，此时内刻度圈的示数应对应0°然后微微转动四分之一波片（注意不要带动内刻度圈），使白屏上的光点达到最暗后固定四分之一波片。5)等幅椭圆偏振光的获得置四分之一波片快轴于内刻度圈的示数+45（或-45°)，此时，无论起偏器转动在何位置，经四分之一波片出射的光均为等幅椭圆偏振光（除起偏器透光方向平行或垂直快轴)。3.测量样品的折射率和厚度1)选择测试样品最佳入射角由多次实验结果和理论证明，当入射角为70°左右时，实验现象和结果最为准确。方法是将样品放在载物台中央，旋转载物台使达到预定的入射角70°，并使反射光在观察窗口白屏上形成一亮点
光镜至于载物台中央，使激光束按布儒斯特角(约 57°)入射到黑色反光镜表面。 根据布儒斯特定律，当入射角是布儒斯特角时，反射光将是振动方向垂直于入射 面(水平面)的完全线偏光(如图 3 所示)，反射至望远镜筒内到达观察窗口白屏上 成为一个亮点。转动整个检偏器，调整与望远镜的相对位置，使观察窗口白屏上 的光点达到最暗后固定检偏器。 图 3 获得布儒斯特角调整示意图 3)标定起偏器透光轴的零刻度，并使起偏器和检偏器的透光轴零刻度方向互 相垂直。 将起偏器套在平行光管镜筒上，0°读数朝上(如图 4 所示)。取下黑色反光镜， 将望远镜系统转回原来位置，使起偏器、检偏器共轴，并使激光束通过中心。调 整起偏器与镜筒的相对位置。找出最暗位置后固定起偏器。 图 4 起偏器、检偏器透光轴零刻度定位示意图 4)四分之一波片零位的调整 将四分之一波片框的打孔点(快轴方向记号)向上，套在内刻度圈上，此时内 刻度圈的示数应对应 0°.然后微微转动四分之一波片(注意不要带动内刻度圈)，使 白屏上的光点达到最暗后固定四分之一波片。 5)等幅椭圆偏振光的获得 置四分之一波片快轴于内刻度圈的示数+45°(或−45°)，此时，无论起偏器转 动在何位置，经四分之一波片出射的光均为等幅椭圆偏振光(除起偏器透光方向 平行或垂直快轴)。 3．测量样品的折射率和厚度 1)选择测试样品最佳入射角 由多次实验结果和理论证明，当入射角为 70°左右时，实验现象和结果最为 准确。方法是将样品放在载物台中央，旋转载物台使达到预定的入射角 70°，并 使反射光在观察窗口白屏上形成一亮点
2）测量和为了减小测量误差，采用四点测量法（在转动起偏器方位角和检偏器方位角e的过程中，有四组消光点，其中任意一组均可解出同一解（d，n）：先置四分之一波片快轴于+45°，仔细调节检偏器方位角0和起偏器方位角，使光电探头的电流最小(白屏窗口最暗)，记下值和βp值。这样可以得到两组消光位置数据(01，(1)，（01，(P2)，其中01<90°，290，相应的β值为Φ1和2；同理，置四分之一波片快轴于一45°，仔细调节检偏器方位角和起偏器方位角，使光电探头的电流最小(白屏窗口最暗)，可以得到另外两组数据。并带入公式中计算中，△。4.计算样品的折射率和厚度的数据处理方法按前节所述，利用计算机按椭圆偏振方程tand exp(iA) = fip + rapexp(-i0) 1 + risr2exp(-i0)ris+r2sexp(-io) 1+ripr2pexp(-i8)=f(no, ni, n2, Φ, d, 2)进行d1，ni与中，△的数值计算，并将结果图形化。根据曲线和测得的中，△，可得到样品的厚度d,和折射率n1，在已知波长入，入射角Φ，衬底材料折射率nz的情况下，椭圆偏振方程可以写成含有四个自变量（d，n1，，△）的方程组：[Re(tanexp(i))=fi(ni,d)[Im(tanexp(i))=f2(n,d)在方程组中取定一个d1，得到一条关于△的曲线。对应不同的d,的取值，即可得到一系列的曲线簇（如图5）。其中任一条曲线上的不同点，代表着厚度相同但折射率不同的解。因此，我们只要找出(，)对应的d,即可。同理，在方程组中取定一个n1，得到一条出关于△的曲线。不同的n,的取值，即可得到一系列曲线簇（如图6）。其中任一条曲线上的不同点，代表着折射率相同但是厚度不同的解。因此，只要找出(中，△)对应的n即可。t9.608.487.35331.05333.30344.55335.55337.80340.05342.30图5-△关于d的曲线簇
2) 测量θ和φ 为了减小测量误差，采用四点测量法(在转动起偏器方位角φ和检偏器方位角 θ的过程中，有四组消光点，其中任意一组均可解出同一解（d1，n1）：先置四分 之一波片快轴于+45°，仔细调节检偏器方位角θ和起偏器方位角φ，使光电探头 的电流最小(白屏窗口最暗)，记下θ值和φ值。这样可以得到两组消光位置数据(θ1， φ1)，(θ1，φ2)，其中θ1 < 90°，θ2 > 90°，相应的φ值为φ1和φ2；同理，置四分 之一波片快轴于−45°，仔细调节检偏器方位角和起偏器方位角，使光电探头的 电流最小(白屏窗口最暗)，可以得到另外两组数据。并带入公式中计算ψ，Δ。 4．计算样品的折射率和厚度的数据处理方法 按前节所述，利用计算机按椭圆偏振方程 tanψ exp(iΔ) = 𝑟𝑟1𝑝𝑝 + 𝑟𝑟2𝑝𝑝exp(−𝑖𝑖𝑖𝑖) 𝑟𝑟1𝑠𝑠 + 𝑟𝑟2𝑠𝑠exp(−𝑖𝑖𝑖𝑖) 1 + 𝑟𝑟1𝑠𝑠𝑟𝑟2𝑠𝑠exp(−𝑖𝑖𝑖𝑖) 1 + 𝑟𝑟1𝑝𝑝𝑟𝑟2𝑝𝑝exp(−𝑖𝑖𝑖𝑖) = f�n0，n1，n2，ϕ，d，λ� 进行d1，n1与ψ，Δ的数值计算，并将结果图形化。根据曲线和测得的ψ，Δ，可 得到样品的厚度d1和折射率n1，在已知波长λ，入射角ϕ，衬底材料折射率n2的 情况下，椭圆偏振方程可以写成含有四个自变量（d1，n1，ψ，Δ）的方程组： � 𝑅𝑅𝑅𝑅(𝑡𝑡𝑡𝑡𝑡𝑡Ψexp(𝑖𝑖Δ)) = 𝑓𝑓1(𝑛𝑛1, 𝑑𝑑1) 𝐼𝐼𝐼𝐼(𝑡𝑡𝑡𝑡𝑡𝑡Ψexp(𝑖𝑖Δ)) = 𝑓𝑓2(𝑛𝑛1, 𝑑𝑑1) 在方程组中取定一个d1，得到一条ψ关于Δ的曲线。对应不同的d1的取值，即可 得到一系列的曲线簇（如图 5）。其中任一条曲线上的不同点，代表着厚度相同 但折射率不同的解。因此，我们只要找出(ψ，Δ)对应的d1即可。同理，在方程 组中取定一个n1，得到一条ψ关于Δ的曲线。不同的n1的取值，即可得到一系列 曲线簇（如图 6）。其中任一条曲线上的不同点，代表着折射率相同但是厚度不 同的解。因此，只要找出(ψ，Δ)对应的n1即可。 图 5 ψ − Δ关于d1的曲线簇